? 高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV |沈陽科晶自動化設備有限公司

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高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV

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產品名稱: 高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV
產品型號: OTF-1200X-80-C2HV
產品展商: 科晶
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簡單介紹

高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區管式爐、兩路質子混氣系統和高真空機組組成,*高工作溫度可達1200℃,混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入管式爐內部,本系統極限真空度可達10-5 torr。

高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV的詳細介紹

產品型號

高真空CVD系統OTF-1200X-80-C2HV

主要特點

1層殼體,配有風冷系統,殼體溫度<60℃。

2內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度

3PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序。

4質量流量系統采用316不銹鋼制作而成

5已通過CE認證。

技術參數

管式爐

1電源:AC 220V   50/60Hz

2、石英管:外徑Φ80mm,內徑Φ75mm,長1000mm

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)

4、加熱區域:440mm

5、恒溫區域:150mm

6工作溫度:*高1200連續工作1100

7、*大升降溫速率:20/min

8、控溫精度:±1

9、熱電偶:K

高真空機組

1、殼體:600mm×600mm×700mm,*大承重275kg

2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵

3、顯示屏:LCD數字顯示

4、抽氣速率:N2-33L/sHe-39L/sH2-32L/s

5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

6、極限:10-8mtorr(無泄漏)

質量流量混氣系統

1、電源:單相AC208-240V  50/60Hz

2、功率:18W

3尺寸:600mm×600mm×700mm

4混氣箱:Φ80mm×120mm


 
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