?? GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀 |沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品資料
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GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

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產品名稱: GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀
產品型號: GSL-1800X-ZF4
產品展商: 科晶
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簡單介紹

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al?、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價比較高的實驗設備。GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀腔底部配有5個水冷電極,在工作過程中可有效保護電極溫度不會因溫度過高而熔化,進而損壞電極。該機采用金屬腔室,具有極高的真空度,真空度可達到5.0×10-7torr,樣品臺可對樣品進行加熱,加熱溫度為100℃-150℃,是進行高真空蒸發鍍膜的首 選設備。

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀的詳細介紹

產品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

產品型號

GSL-1800X-ZF4



安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接

       頭)及減壓閥

4、工作臺:落地式,占地面積2m2以上。

5、通風裝置:需要

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

2、采用獨立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。 

3真空腔體設有1KF40旁抽閥(直接與前級機械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1CF150閘板閥(直接與分子泵相連)、1KF16法蘭(安裝電阻規)、5CF35法蘭(1個安裝電離規,4個備用,便于安裝其他設備)

4、在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。

 

54個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板,有效地避免蒸發時相互污染。

6、樣品臺安裝在腔體的頂部。

7、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀,精度為10?

8、可使用循環水冷機。

技術參數

1輸入:單相AC220V50Hz/60Hz功率<2.16KW(不含真空泵)

2蒸發輸出:電壓AC 0-8V連續可調,極限蒸發電流200A,極限蒸發功率<1.6KW

3、真空腔:?300mm(內徑)×400mm,不銹鋼,內壁經電拋光處理

             

4、腔門:?200mm

5、觀察窗:?95mm,采用專用密封圈密封

6、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s

7、真空度:5.0×10-6torr(泵開啟40min后)

8、極限真空度:5.0×10-7torr (加熱溫度為100-150

9、漏率:5.0×10-7Pa/s

10、樣品臺:?140mm

            

11、蒸發舟與樣品臺間距:260mm

12、冷卻水需量:15L/min

產品規格

尺寸:650mm×1200mm×1600mm;重量:600kg

 GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀(一代)操作參考視頻 

 

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